申请/专利权人：洛阳杰芯电子科技有限公司

申请日：2023-08-14

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN220613571U

主分类号：B24B41/06

分类号：B24B41/06;B24B41/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.19#授权

摘要：本实用新型公开了一种硅片表面研磨夹持装置，包括底座，底座的内部安装有电源板，底座的顶部安装有显示屏，显示屏与电源板电性连接，底座的顶部一侧插接有支撑杆，支撑杆的顶部安装有固定夹头，底座的顶部一侧边缘处通过螺栓固定安装有底板，底板的顶部固定安装有立柱，立柱的顶部套接有升降柱。本实用新型通过液压缸快速带动固定压板缩短与固定夹头的彼此间距，接着利用升降机构可带动升降柱进行高度调节，通过支撑臂带动固定压板移动，从而实现通过手动转动把手对固定压板与固定夹头的距离进行微调，通过观测压力传感器精准控制对硅片的夹持力度，保证硅片夹紧的同时不会受力过大破碎也不会受力太小出现夹持不稳的现象。

主权项：1.一种硅片表面研磨夹持装置，包括底座（1），其特征在于，所述底座（1）的内部安装有电源板，所述底座（1）的顶部安装有显示屏（2），所述显示屏（2）与电源板电性连接，所述底座（1）的顶部一侧插接有支撑杆（3），所述支撑杆（3）的顶部安装有固定夹头（4），所述底座（1）的顶部一侧边缘处通过螺栓固定安装有底板（5），所述底板（5）的顶部固定安装有立柱（6），所述立柱（6）的顶部套接有升降柱（7），所述升降柱（7）为凹字型结构，所述升降柱（7）的顶部套接有安装套（8），所述安装套（8）的一侧设置有锁紧旋钮，所述安装套（8）的一侧固定安装有支撑臂（9），所述升降柱（7）的内部安装有升降机构（10）。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 洛阳杰芯电子科技有限公司 一种硅片表面研磨夹持装置

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