申请/专利权人：上海矽皓精密设备技术有限公司

申请日：2023-08-15

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN220627754U

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.19#授权

摘要：本实用新型适用于晶圆片读片技术领域，提供了无污染晶圆片读片系统，包括：承载平台，所述承载平台一侧设有相机，所述承载平台一侧设有背景光源，所述承载平台上设有晶圆片盒，所述晶圆片盒内设有晶圆片；在相机软件设置时，选择设定晶圆片读取区域，设定单片位置的暗影读取边界，调整背景光源的强度，设定相机采集触发条件，设置安全报警条件，具有晶圆片读片精确和无污染的优点。

主权项：1.无污染晶圆片读片系统，其特征在于，包括：承载平台，所述承载平台一侧设有相机，所述承载平台一侧设有背景光源，所述承载平台上设有晶圆片盒，所述晶圆片盒内设有晶圆片。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海矽皓精密设备技术有限公司 无污染晶圆片读片系统

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