申请/专利权人：海目星激光科技集团股份有限公司

申请日：2023-04-12

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN220625657U

主分类号：G01M3/20

分类号：G01M3/20

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.19#授权

摘要：本实用新型涉及一种氦检管路装置。本实用新型所述的氦检管路装置包括密封组件、真空组件和氦检组件；密封组件包括第一腔盖和第一容置槽、第二腔盖和第二容置槽、第三腔盖和第三容置槽以及第四腔盖和第四容置槽，其中第一容置槽和第二容置槽设置在一侧，第三容置槽和第四容置槽设置在另一侧；真空组件包括第一真空泵和第二真空泵，第一真空泵连通第一容置槽和第三容置槽，第二真空泵连通第二容置槽和第四容置槽。本实用新型所述的氦检管路装置具有两个真空泵可同时工作以提高工作效率的优点。

主权项：1.一种氦检管路装置，其特征在于：包括密封组件、真空组件和氦检组件；所述密封组件包括第一腔盖110、第二腔盖120、第三腔盖130和第四腔盖140，所述第一腔盖110和所述第二腔盖120在一侧，所述第三腔盖130和所述第四腔盖140设置在另一侧；所述密封组件还包括第一容置槽、第二容置槽、第三容置槽和第四容置槽，所述第一容置槽和所述第二容置槽与所述第一腔盖110和所述第二腔盖120对应设置，所述第三容置槽和所述第四容置槽与所述第三腔盖130和所述第四腔盖140对应设置，位于同一侧的两个容置槽可水平移动至对应一侧的两个腔盖正下方，再向上移动，直至与该侧的腔盖的底面抵接；所述第一腔盖110、所述第二腔盖120、所述第三腔盖130和所述第四腔盖140上分别设置有第一通孔111、第二通孔121、第三通孔131和第四通孔141；所述真空组件包括第一真空管、第二真空管、第一真空泵和第二真空泵；所述第一真空管包括第一主管211和两个第一支管212，所述第一主管211连通所述第一真空泵，两个所述第一支管212分别连通所述第一通孔111和所述第三通孔131；所述第二真空管包括第二主管221和两个第二支管222，所述第二主管221连通所述第二真空泵，两个所述第二支管222分别连通所述第二通孔121和所述第四通孔141；所述第一支管212和所述第二支管222上分别设置有高真空气控阀3；所述氦检组件包括氦检仪，所述氦检仪与所述第一通孔111、所述第二通孔121、所述第三通孔131和所述第四通孔141分别连通。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 海目星激光科技集团股份有限公司 氦检管路装置

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD