申请/专利权人：三星显示有限公司

申请日：2023-09-19

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117737646A

主分类号：C23C14/04

分类号：C23C14/04;C23C14/24;C23C14/54

优先权：["20220922 KR 10-2022-0120137"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.03.22#公开

摘要：提供了一种用于制造掩模组件的设备、用于使用该设备计算自动教导数据的方法和使用通过自动教导数据计算的位置校正值制造掩模组件的方法。用于制造掩模组件的设备包括：加工单元，包括台、掩模、掩模框架和多个标记部分；第一吊架，设置在加工单元上并且在第一方向上是可移动的；第二吊架，连接到第一吊架并且在与第一方向交叉的第二方向上是可移动的；拍摄单元，连接到第二吊架并且拍摄多个标记部分；以及移动控制单元，控制第一吊架和第二吊架的移动。

主权项：1.一种用于制造掩模组件的设备，所述用于制造掩模组件的设备包括：加工单元，包括台、掩模、掩模框架和多个标记部分；第一吊架，设置在所述加工单元上并且在第一方向上是可移动的；第二吊架，连接到所述第一吊架并且在与所述第一方向交叉的第二方向上是可移动的；拍摄单元，连接到所述第二吊架并且拍摄所述多个标记部分；以及移动控制单元，控制所述第一吊架和所述第二吊架的移动。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 三星显示有限公司 制造掩模组件的设备和使用其计算自动教导数据的方法

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