申请/专利权人：中国科学院精密测量科学与技术创新研究院

申请日：2024-01-19

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117739061A

主分类号：F16F15/00

分类号：F16F15/00;F16F15/02;F16F15/28

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本发明公开了一种摆式多级主动反馈隔振系统，包括竖直被动隔振模块、竖直主动隔振模块、一级摆被动隔振模块、二级摆被动隔振模块和二级摆主动隔振模块，二级摆主动隔振模块包括摆体驱动器支架、摆体位移传感器支架、摆体位移传感器以及摆体驱动器，本发明采用多自由度被动主动相结合的隔振方式，进一步降低待测平面的振动水平。通过一级摆对二级摆的追踪，提升待测平面的振动抑制水平。

主权项：1.一种摆式多级主动反馈隔振系统，包括竖直被动隔振模块1，其特征在于，还包括竖直主动隔振模块2，竖直被动隔振模块1包括隔振底板101、一级被动隔振102、一级底板103、二级底板104、框架105以及顶板106，隔振底板101固定设置在地面，一级底板103通过一级被动隔振102设置在隔振底板101顶面，二级底板104通过二级被动隔振设置在一级底板103顶面，框架105底部与二级底板104的顶面固连，框架105顶部与顶板106固连，竖直主动隔振模块2包括Z向位移传感器201和Z向摆体驱动器202，Z向位移传感器201安装于一级底板103顶面中心，且位于一级底板103和二级底板104之间；Z向摆体驱动器202安装于隔振底板101上，且位于隔振底板101和一级底板103之间。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学院精密测量科学与技术创新研究院 一种摆式多级主动反馈隔振系统

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