申请/专利权人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司

申请日：2023-12-06

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117747497A

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;H01L21/677

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本发明提供一种门板检测系统、方法和装载机，属于半导体技术领域，包括至少一传感器机构、至少一吸附机构、驱动机构和控制机构；所述吸附机构用于吸附待检测目标的门板；所述驱动机构用于在所述门板被吸附后，带动所述待检测目标移动；所述传感器机构用于根据所述门板在所述待检测目标移动过程中的位置，得到检测状态信息；所述控制机构用于根据所述检测状态信息，确定所述门板的检测结果。本发明对待检测目标的门板进行检测，确保门板牢固不会掉落，避免因门板掉落造成的半导体器件破损，消除了安全隐患。

主权项：1.一种门板检测系统，其特征在于，包括至少一传感器机构、至少一吸附机构、驱动机构和控制机构；所述吸附机构用于吸附待检测目标的门板；所述驱动机构用于在所述门板被吸附后，带动所述待检测目标移动；所述传感器机构用于根据所述门板在所述待检测目标移动过程中的位置，得到检测状态信息；所述控制机构用于根据所述检测状态信息，确定所述门板的检测结果。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北京京仪自动化装备技术股份有限公司 门板检测系统、方法和装载机

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