申请/专利权人：布鲁克纳米公司

申请日：2022-06-07

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117751290A

主分类号：G01Q10/04

分类号：G01Q10/04;G03F7/00;G01Q60/24;G01Q10/06

优先权：["20210616 US 17/348,877"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：一种批量制造用于表面分析仪器例如原子力显微镜AFM的探针装置的阵列的方法包括：提供晶圆；以及针对每个探针以光刻的方式形成基部和悬臂。该悬臂包括相对于基部的内置角度9，并且在探针装置被安装在表面分析仪器的探针保持器中时，基部基本上平行于样品保持器。

主权项：1.一种批量制造用于表面分析仪器的探针装置的阵列的方法，所述方法包括：提供晶圆；针对每个探针装置以光刻的方式形成基部和悬臂；以及其中，所述悬臂包括相对于所述基部的内置角度θ。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 布鲁克纳米公司 具有内置角度的计量探针及其制造方法

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD