申请/专利权人：国家电投集团科学技术研究院有限公司

申请日：2022-09-13

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117747468A

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;H01L31/18;H10K71/40

优先权：

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.03.22#公开

摘要：本发明公开了一种快速退火设备，所述快速退火设备包括壳体、工作台、脉冲组件和滤光件，所述工作台设在所述壳体内，所述脉冲组件设在所述壳体内且位于所述工作台上方，所述脉冲组件用于向所述工作台发射脉冲光，所述滤光件设在所述工作台和所述脉冲组件之间，所述扇叶可转动地设在所述工作台和所述脉冲组件之间，所述扇叶上设有狭缝。本发明实施例的快速退火设备利用脉冲光对样品进行加热，可在极短时间内将钙钛矿薄膜加热至相变温度，有利于提高钙钛矿薄膜质量及稳定性，还通过滤光件和扇叶对脉冲光的波长和光照时长进行精确控制，实现选择性加热，工艺耗时短，易于集成，有利于大面积钙钛矿薄膜的生产。

主权项：1.一种快速退火设备，其特征在于，包括：壳体；工作台，所述工作台设在所述壳体内；脉冲组件，所述脉冲组件设在所述壳体内且位于所述工作台上方，所述脉冲组件用于向所述工作台发射脉冲光；滤光件，所述滤光件设在所述工作台和所述脉冲组件之间；扇叶，所述扇叶可转动地设在所述工作台和所述脉冲组件之间，所述扇叶上设有狭缝。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 国家电投集团科学技术研究院有限公司 快速退火设备

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