申请/专利权人：国家电投集团科学技术研究院有限公司

申请日：2022-09-13

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117737656A

主分类号：C23C14/24

分类号：C23C14/24;C23C14/58;H10K71/40

优先权：

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.03.22#公开

摘要：本发明公开了一种快速退火设备，所述快速退火设备包括壳体、样品台、蒸镀源、挡板和脉冲组件，壳体具有蒸镀腔和退火腔，壳体上设有与退火腔连通的开口，样品台可封堵在开口处并可从开口处移除，样品台邻近退火腔的一侧用于固定样品，蒸镀源连接于壳体并位于蒸镀腔内，挡板活动连接于壳体并位于蒸镀腔内，挡板在遮挡位置和暴露位置之间可转换，在遮挡位置，挡板隔开蒸镀腔和退火腔，在暴露位置，蒸镀腔和退火腔连通，脉冲组件连接于挡板，脉冲组件用于对样品进行加热，在遮挡位置，脉冲灯位于退火腔内。本发明利用蒸镀源在样品上制备薄膜，并利用脉冲组件对样品上的薄膜进行快速退火，实现了在薄膜制备过程中对薄膜组分及结晶质量进行精确控制。

主权项：1.一种快速退火设备，其特征在于，包括：壳体，所述壳体具有蒸镀腔和退火腔，所述壳体上还设有与所述退火腔连通的开口；样品台，所述样品台可封堵在所述开口处并可从所述开口处移除，所述样品台邻近所述退火腔的一侧用于固定样品；蒸镀源，所述蒸镀源连接于所述壳体并位于所述蒸镀腔内；挡板，所述挡板活动连接于所述壳体并位于所述蒸镀腔内，所述挡板在遮挡位置和暴露位置之间可转换，在所述遮挡位置，所述挡板隔开所述蒸镀腔和所述退火腔，在所述暴露位置，所述蒸镀腔和所述退火腔连通；脉冲组件，所述脉冲组件连接于所述挡板，所述脉冲组件用于对所述样品进行加热，在所述遮挡位置，所述脉冲灯位于所述退火腔内。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 国家电投集团科学技术研究院有限公司 快速退火设备

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