申请/专利权人：福建华佳彩有限公司

申请日：2023-11-02

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117737658A

主分类号：C23C14/24

分类号：C23C14/24

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本发明提供一种防泄露石墨坩埚，包括有石墨坩埚主体，所述石墨坩埚主体包括有呈直筒状的石墨内层和石墨外层，所述石墨内层和石墨外层的底部均封闭，所述石墨外层套设在石墨内层的外侧，在所述石墨内层和石墨外层之间还设置有金属层，所述金属层将石墨内层包裹。本发明可解决现有点源石墨坩埚在使用过程中破裂导致内部被熔解金属液体泄露，造成材料的流失及设备的宕机问题。在提高石墨坩埚的使用寿命的同时，造价成本低于钽坩埚，且消除了钽坩埚长时间使用后钽金属逸出到蒸发材料中的风险，节约产品的投入成本。

主权项：1.一种防泄露石墨坩埚，其特征在于：包括有石墨坩埚主体，所述石墨坩埚主体包括有呈直筒状的石墨内层和石墨外层，所述石墨内层和石墨外层的底部均封闭，所述石墨外层套设在石墨内层的外侧，在所述石墨内层和石墨外层之间还设置有金属层，所述金属层将石墨内层包裹。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 福建华佳彩有限公司 一种防泄露石墨坩埚

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