申请/专利权人:希科半导体科技(苏州)有限公司
申请日:2023-12-18
公开(公告)日:2024-03-22
公开(公告)号:CN117739872A
主分类号:G01B11/30
分类号:G01B11/30
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开
摘要:本发明涉及半导体制备技术领域,特别公开了一种石墨件平整度的检测装置,包括检测平台,用于放置待测石墨件;传动结构,设置于所述检测平台底部,用于带动所述检测平台沿第一方向移动;第一支撑杆和第二支撑杆,沿第二方向分别设置在所述传动结构相对的两侧边,所述第二方向与所述第一方向垂直;激光发射器,固定在所述第一支撑杆上,用于发射检测激光;激光接收器,固定在所述第二支撑杆上,且所述激光接收器设置于所述检测激光的发射路径上,用于接收所述检测激光。利用对待测石墨件进行检测,可以根据激光接收器对检测激光的接收情况来判断石墨件的表面平整度,实现了对石墨件表面平整度的精确检测。
主权项:1.一种石墨件平整度的检测装置,其特征在于,包括:检测平台,用于放置待测石墨件;传动结构,设置于所述检测平台底部,用于带动所述检测平台沿第一方向移动;第一支撑杆和第二支撑杆,沿第二方向分别设置在所述传动结构相对的两侧边,所述第二方向与所述第一方向垂直;激光发射器,固定在所述第一支撑杆上,用于发射检测激光;激光接收器,固定在所述第二支撑杆上,且所述激光接收器设置于所述检测激光的发射路径上,用于接收所述检测激光。
全文数据:
权利要求:
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