申请/专利权人：苏州古莱光学科技有限公司

申请日：2023-12-29

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117733661A

主分类号：B24B1/00

分类号：B24B1/00;B24B29/02;B24B57/02;B24B41/06;B24B41/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本发明公开了一种光学元件超光滑表面的高抛方法，属于光学元件抛光技术领域，包括以下步骤：先根据工件的类型，选择与工件待加工表面的形状相适配的抛光模具；然后将粗抛抛光液喷射到材质为聚氨酯的第一抛光皮上，使得粗抛光液在工件与第一抛光皮之间流动，实现工件表面面型精度ΔN≤0.3fr的抛光；接着将精抛抛光液喷射到材质为聚氨酯的第二抛光皮上，使得精抛光液在工件与第二抛光皮之间流动，最终实现工件表面粗糙度RMS≤0.5nm的抛光。本申请可以在各种高抛设备上达到相同的超光滑表面效果、适用范围较广、加工区域较大、抛光效率也较高，同时操作简单、生产成本和人工成本均较低。

主权项：1.一种光学元件超光滑表面的高抛方法，其特征在于，包括以下步骤：对工件进行粗抛光：对高抛设备的主轴转速进行设定；根据工件的类型，选择与工件待加工表面的形状相适配的抛光模具，然后将材质为聚氨酯的第一抛光皮安装在与主轴连接的抛光模具上；将夹持有工件的夹具放到抛光模具上，使得工件的抛光面与第一抛光皮面接触；将高抛设备的摇摆轴放下，使其与夹具抵触；启动高抛设备，主轴带动抛光模具、第一抛光皮旋转，摇摆轴与主轴同时运转，通过气压系统对夹具加压并传递至工件上，通过喷嘴将粗抛抛光液喷射到第一抛光皮上，使得粗抛光液在工件与第一抛光皮之间流动，实现工件表面面型精度ΔN≤0.3fr的抛光；对工件进行精抛光：对高抛设备的主轴转速进行设定；将材质为聚氨酯的第二抛光皮安装在与主轴连接的抛光模具上；将夹持有已完成粗抛的工件的夹具放到抛光模具上，使得工件的抛光面与第二抛光皮面接触；将高抛设备的摇摆轴放下，使其与夹具抵触；启动高抛设备，主轴带动抛光模具、第二抛光皮旋转，摇摆轴与主轴同时运转，通过气压系统对夹具加压并传递至工件上，通过喷嘴将精抛抛光液喷射到第二抛光皮上，使得精抛光液在工件与第二抛光皮之间流动，最终实现工件表面粗糙度RMS≤0.5nm的抛光。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 苏州古莱光学科技有限公司 一种光学元件超光滑表面的高抛方法及高抛设备

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