申请/专利权人：吉林大学

申请日：2024-01-15

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117742015A

主分类号：G02F1/01

分类号：G02F1/01;G02F1/21;G02F1/225;G02B6/122;G02B6/125

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：一种超宽工作带宽的平面信号光波导可变光衰减器，属于平面信号光波导信号光集成芯片技术领域。由硅片衬底、下包层、波导芯层、上包层及金属电极组成，波导芯层被包覆在上包层之中；波导芯层材料的折射率大于包层材料的折射率；沿信号光传输方向，波导芯层由第一模式过滤器，3dB分束器，第一输入S弯曲波导芯层、调制臂波导芯层和第一输出S弯曲波导芯层，第二输入S弯曲波导芯层、非调制臂波导芯层和第二输出S弯曲波导芯层，3dB合束器和第二模式过滤器组成。本发明使用了贝塞尔形的多模干涉器，实现了一个超宽工作带宽内的低损耗的信号光分束与合束，且输出信号光强会随着施加在金属电极上的功率变化而变化，从而实现可控衰减的过程。

主权项：1.一种超宽工作带宽的平面信号光波导可变光衰减器，其特征在于：从下至上，依次由硅片衬底1、下包层2、波导芯层3、上包层4及金属电极5组成，波导芯层3被包覆在上包层4之中；波导芯层3材料的折射率大于包层材料的折射率；沿信号光传输方向，波导芯层3由第一模式过滤器100，3dB分束器200，依次连接的第一输入S弯曲波导芯层301、调制臂波导芯层302和第一输出S弯曲波导芯层304，依次连接的第二输入S弯曲波导芯层301’、非调制臂波导芯层303和第二输出S弯曲波导芯层304’，3dB合束器400和第二模式过滤器600组成；金属电极5设置在调制臂波导芯层302正上方的上包层4之上；第一模式过滤器100和第二模式过滤器600为尺寸和结构相同的器件，由宽输入波导芯层101、宽度由宽变窄的第一楔形转换器102、窄传输波导芯层103、宽度由窄变宽的第二楔形转换器104和宽输出波导芯层105五个部分构成；3dB分束器200和3dB合束器400为尺寸和结构相同的1×2多模干涉器，使用方式相反；由3dB输入波导芯层201，宽度由窄变宽的贝塞尔形多模干涉区202，依次连接的宽度由宽变窄的第一输出楔形转换器203和3dB第一输出波导芯层204，依次连接的宽度由宽变窄的第二输出楔形转换器203’和3dB第二输出波导芯层204’构成。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 吉林大学 一种超宽工作带宽的平面信号光波导可变光衰减器

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