申请/专利权人：潍坊华光光电子有限公司

申请日：2022-09-13

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117740325A

主分类号：G01M11/02

分类号：G01M11/02;H01S5/0225

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本发明涉及一种用于半导体激光器慢轴准直及测试的机台及其工作方法，属于半导体激光器准直与测试领域，包括载物台、聚焦透镜、分束镜、功率计、渐变衰减片、光束质量分析仪、工业计算机、运动模块和电源及开关系统；载物台用于固定半导体激光器芯片和慢轴准直透镜，半导体激光器芯片出光后依次经慢轴准直透镜、聚焦透镜在分束镜中分束，一路进入功率计，一路经渐变衰减片进入光束质量分析仪；运动模块包括吸取模块和三轴运动模块，三轴运动模块、电源及开关模块、光束质量分析仪和功率计均与工业计算机连接。本发明可以快速、准确完成慢轴准直工作，并能实现自动测试及记录功能，可以提高生产效率和质量，并且能够准确的量化光斑质量等参数。

主权项：1.一种用于半导体激光器慢轴准直及测试的机台，其特征在于，包括载物台、聚焦透镜、分束镜、功率计、渐变衰减片、光束质量分析仪、工业计算机、运动模块和电源及开关系统；所述载物台用于固定半导体激光器芯片和慢轴准直透镜，半导体激光器芯片出光后依次经慢轴准直透镜、聚焦透镜在分束镜中分束，一路进入功率计，一路经渐变衰减片进入光束质量分析仪；所述电源及开关系统用于控制载物台上多路半导体激光器芯片的通断，运动模块包括吸取模块和三轴运动模块，三轴运动模块、电源及开关模块、光束质量分析仪和功率计均与工业计算机连接，吸取模块用于吸取慢轴准直透镜并在慢轴准直透镜底部蘸胶后将其固定在载物台上，三轴运动模块用于根据工业计算机反馈的信号不断调节吸取模块位置以使慢轴准直透镜固定在载物台的最优位置。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 潍坊华光光电子有限公司 一种用于半导体激光器慢轴准直及测试的机台及其工作方法

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