申请/专利权人:诺德凯(苏州)智能装备有限公司
申请日:2023-12-06
公开(公告)日:2024-03-22
公开(公告)号:CN117735224A
主分类号:B65G47/52
分类号:B65G47/52;B65G23/24;B65G47/24;B65G47/91;B65G47/248
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开
摘要:本发明公开了一种硅片快速翻转装置,包括并排设置的主线和辅线,主线的一侧设置有送料机构,送料机构的后端设置有取放料机构,送料机构的前端设置有缓存机构,缓存机构的前端设置有上料机构,辅线的一侧设置有第一硅片放置架,主线和辅线均包括旋转机构和翻转机构,取放料机构、旋转机构和翻转机构从右至左依次设置;本发明设置有翻转机构,通过翻转机构能够将第三输送线上的硅片依次进行翻转,在硅片翻转过程中,通过真空吸盘对硅片进行吸附,避免硅片的边缘与翻转板接触导致硅片产生破损,确保了硅片的加工质量,从而在提高硅片翻转输送的效率的同时,提高硅片在翻转过程中的安全性。
主权项:1.一种硅片快速翻转装置,其特征在于:包括并排设置的主线1和辅线2,主线1的一侧设置有送料机构3,送料机构3的后端设置有取放料机构6,送料机构3的前端设置有缓存机构4,缓存机构4的前端设置有上料机构5,辅线2的一侧设置有第一硅片放置架9,主线1和辅线2均包括旋转机构7和翻转机构8,取放料机构6、旋转机构7和翻转机构8从右至左依次设置。
全文数据:
权利要求:
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