申请/专利权人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心

申请日：2023-12-28

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117733320A

主分类号：B23K26/00

分类号：B23K26/00;B23K26/02;B23K26/70

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本发明公开了一种大口径光学介质薄膜节瘤缺陷的激光后处理装置及方法，涉及激光技术领域。所述大口径光学介质薄膜节瘤缺陷的激光后处理装置包括：紫外泵浦激光器、聚焦透镜、飞秒激光器、扫描振镜、扫描场镜、中心带孔反射镜、观测相机、电动位移平台、控制计算机。本发明提供的大口径光学介质薄膜节瘤缺陷的激光后处理装置及方法，利用飞秒激光焦斑小、热影响区小的特点，并在光学摄像头的辅助下实时对局部区域的节瘤缺陷实行精确的去除，其次能够自动识别并准确定位节瘤缺陷，实现节瘤缺陷的快速去除，并降低后处理过程对缺陷周边正常膜层的影响，同时减少了人工干预，提高了自动化程度，有效提高光学介质薄膜节瘤缺陷的后处理效率。

主权项：1.一种大口径光学介质薄膜节瘤缺陷的激光后处理装置，其特征在于，所述装置包括：紫外泵浦激光器1、聚焦透镜2、飞秒激光器3、扫描振镜4、扫描场镜5、中心带孔反射镜6、观测相机7、电动位移平台8、控制计算机9。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 大口径光学介质薄膜节瘤缺陷的激光后处理装置及方法

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