申请/专利权人：ASML荷兰有限公司

申请日：2022-06-02

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117751379A

主分类号：G06T5/77

分类号：G06T5/77;G06T5/50;G06T5/60;G06T7/33

优先权：["20210709 US 63/220,370"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.03.22#公开

摘要：公开了一种用于校正检查图像的失真的改进的系统和方法。一种用于校正检查图像的失真的改进方法包括获取检查图像，基于与检查图像相对应的参考图像来对准检查图像的多个图像块，通过机器学习模型评估多个图像块中的每个图像块与参考图像的对应图像块之间的对准，基于与检查图像相对应的参考图像来确定检查图像的多个图像块的局部对准结果，基于局部对准结果来确定对准模型，以及基于对准模型来校正检查图像的失真。

主权项：1.一种用于校正检查图像的失真的方法，包括：获取检查图像；基于与所述检查图像相对应的参考图像，确定所述检查图像的多个图像块的局部对准结果；针对所述局部对准结果的多个子集中的每个子集：基于所述局部对准结果的所述子集，确定对准模型，以及基于所述对准模型与所述局部对准结果的剩余集合的拟合，评估所述对准模型；基于所述评估，选择多个对准模型中的一个对准模型；以及基于所选择的对准模型，校正所述检查图像的失真。

全文数据：

权利要求：

百度查询： ASML荷兰有限公司 带电粒子检查中的图像失真校正

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