申请/专利权人：歌尔光学科技(上海)有限公司

申请日：2023-12-22

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117741855A

主分类号：G02B6/00

分类号：G02B6/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本发明公开了一种光波导结构的加工方法及光波导结构，其中，加工方法包括步骤：提供一基底；于所述基底的表面镀设第一光学膜层；将所述第一光学膜层刻蚀形成第一光栅层；于所述第一光栅层沉积第一间隔光学膜层，所述第一间隔光学膜层的折射率与所述第一光学膜层的折射率不同；于所述第一间隔光学膜层镀设第二光学膜层；将所述第二光学膜层刻蚀形成第二光栅层。本发明的技术方案的加工方法通过第一间隔光学膜层的间隔，使得第一光栅层和第二光栅层能够叠加设置，从而实现不同的光衍射功能；同时能够有效减少对横向空间的占用，满足了小型化和高密度集成的需求。

主权项：1.一种光波导结构的加工方法，其特征在于，该加工方法包括：提供一基底；于所述基底的表面镀设第一光学膜层；将所述第一光学膜层刻蚀形成第一光栅层；于所述第一光栅层沉积第一间隔光学膜层，所述第一间隔光学膜层的折射率与所述第一光学膜层的折射率不同；于所述第一间隔光学膜层镀设第二光学膜层；将所述第二光学膜层刻蚀形成第二光栅层。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 歌尔光学科技(上海)有限公司 光波导结构加工方法及光波导结构

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