申请/专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

申请日：2023-12-29

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN117737844A

主分类号：C30B25/18

分类号：C30B25/18;G02B5/08;C30B29/40;C30B23/02;C23C14/06;C23C16/34;C23C16/56;C23C14/58;C23C14/35;C23C16/455;C30B33/02

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.09#实质审查的生效;2024.03.22#公开

摘要：本申请提供的多孔布拉格反射镜及其制备方法，在衬底上外延生长AlN缓冲层；在所述AlN缓冲层上采用物理气相沉积法与AlN材料外延生长的方法依次交替周期性生长AlN；对周期性生长AlN后的材料进行高温退火处理，形成折射率差为1的布拉格反射镜，本申请提供的多孔布拉格反射镜及其制备方法，利用PVD和外延生长的AlN，经过退火后，相邻两层之间折射率差可达到1左右，是常规DBR折射率差的两倍以上，能够提升其结构性能。

主权项：1.一种多孔布拉格反射镜的制备方法，其特征在于，包括下述步骤：在衬底上外延生长AlN缓冲层；在所述AlN缓冲层上采用物理气相沉积法与AlN材料外延生长的方法依次交替周期性生长AlN；对周期性生长AlN后的材料进行高温退火处理，形成折射率差为1的布拉格反射镜。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种多孔布拉格反射镜及其制备方法

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