申请/专利权人：ASML荷兰有限公司

申请日：2020-04-22

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN113906346B

主分类号：G03F7/20

分类号：G03F7/20;G02B27/00

优先权：["20190517 EP 19175086.8"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权;2022.01.25#实质审查的生效;2022.01.07#公开

摘要：提供一种量测工具、一种消球差单透镜、和一种设计消球差单透镜的方法。量测工具用于确定衬底上的结构的特性。量测工具包括用于检测在波长范围内的辐射的光学检测系统。光学检测系统包括用于将辐射聚焦至检测器上的消球差单透镜。消球差单透镜具有在所述波长范围内的消球差波长。

主权项：1.一种用于确定衬底上的结构的特性的量测工具，包括：光学检测系统，所述光学检测系统用于检测在波长范围内的辐射，其中，所述光学检测系统包括用于将所述辐射聚焦至检测器上的消球差单透镜，其中，所述消球差单透镜具有：在所述波长范围内的消球差波长；前表面和后表面，所述前表面和后表面具有轴上曲率，在所述轴上曲率处，所述消球差单透镜的球面色像差在最小球面色像差的上下20％内；以及多个其他透镜特性；其中，所述最小球面色像差是具有相同的其他透镜特性的所有消球差单透镜的最小球面色像差。

全文数据：

权利要求：

百度查询： ASML荷兰有限公司 包括消球差单物镜的量测工具

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