申请/专利权人：电子科技大学

申请日：2022-06-16

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN114993550B

主分类号：G01L13/00

分类号：G01L13/00;G01L19/00;G01L19/06;G01L11/02;G01K11/32

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权;2022.09.20#实质审查的生效;2022.09.02#公开

摘要：本发明公开了一种高可靠性的差压传感器及传感方法，涉及光纤差压传感器技术领域；该差压传感器包括：壳体、膜片、多对光纤、引压管；壳体的内部为空腔结构，空腔内设置有膜片，每对光纤的第一端端面沿着膜片两侧对称布置，并且光纤的第一端端面与膜片的表面平行，每对光纤的第一端端面与膜片的表面构成法珀腔的两个反射面，两反射面之间的空间为法珀腔，光纤的第二端通过壳体的凹槽引出壳体外；壳体的两端分别连接有引压管，壳体的两端还分别设置有连通空腔和引压管的引压槽。本发明的膜片具有圆柱形硬中心，膜片边缘变形，带动中间的硬中心移动，并且硬中心的位移与膜片形变量一致，因此可利用多对光纤对数据备份，提高了差压传感器的可靠性。

主权项：1.一种高可靠性的差压传感器，其特征在于，所述差压传感器包括：壳体（1）、膜片（2）、多对光纤（3）和引压管（4）；所述壳体（1）的内部为空腔结构，空腔内设置有膜片（2），每对光纤（3）的第一端端面沿着膜片（2）两侧对称布置，并且光纤（3）的第一端端面与膜片（2）的表面平行，所述每对光纤（3）的第一端端面与膜片（2）的表面构成珐珀腔的两个反射面，两反射面之间的空间为珐珀腔，光纤（3）的第二端通过壳体（1）的凹槽引出壳体外；所述壳体（1）的两端分别连接有引压管（4），所述壳体（1）的两端还分别设置有连通空腔和引压管（4）的引压槽（11）；所述膜片（2）形状为圆形，所述膜片（2）包括硬中心（22）和膜片边缘（21），所述硬中心（22）为圆柱形；所述每对光纤（3）沿着膜片（2）的硬中心（22）两侧对称布置，所述每对光纤（3）布置在硬中心（22）的圆形平面所在区域范围内，所述引压管（4）布置在硬中心（22）的圆形平面所在区域范围内，其中一对光纤（3）设置在硬中心（22）的正中心两侧；所述硬中心（22）厚度为0.6~0.8mm，半径为15~20mm，所述膜片边缘（21）厚度小于0.1mm；所述珐珀腔长在全量程范围内的变化范围为50um~250um；所述膜片（2）材质为低温度系数的恒弹性合金，所述硬中心（22）的表面光洁度等级不小于10级；还包括温度传感器（5）和压力传感器（6），所述温度传感器（5）和压力传感器（6）密封在壳体（1）中；所述壳体（1）为圆柱形结构，材料为不锈钢；所述壳体（1）的内表面上设置有第一安装孔（12）和第二安装孔（13），所述第一安装孔（12）和第二安装孔（13）分别连通空腔，所述温度传感器（5）密封在第一安装孔（12）内，所述压力传感器（6）密封在第二安装孔（13）内；所述压力传感器（6）探测高静压范围为0~27Mpa；还包括设置在壳体（1）的外表面上任意两点处的位移传感器，以获取壳体（1）上两点之间的位移变化数据，并根据测量到的位移变化数据对差压传感器的测量数据进行校准。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 电子科技大学 一种高可靠性的差压传感器及传感方法

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD