申请/专利权人：青岛国数信息科技有限公司;青岛国数微电子有限公司

申请日：2021-09-28

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN114034377B

主分类号：G01H11/08

分类号：G01H11/08;H10N30/87;H10N30/30

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权;2023.08.01#专利申请权的转移;2022.03.01#实质审查的生效;2022.02.11#公开

摘要：本发明公开了一种双层AIN压电薄膜水听器芯片单元，其包括由下向上依次设置的SOI基片、第一AIN压电层、第一电极层、隔离层、第二AIN压电层以及第二电极层；第一电极层与第一AIN压电层的外缘轮廓的形状和大小均相同；第一电极层包括第一正电极和第一负电极；第一正电极设置于第一电极层的中心区域且呈圆形；第一负电极设置于第一电极层的外侧边缘区域且呈环形；第二电极层与第二AIN压电层的外缘轮廓的形状和大小均相同；第二电极层包括第二正电极和第二负电极；第二正电极设置于第二电极层的中心区域且呈圆形；第二负电极设置于第二电极层的外侧边缘区域且呈环形。本发明利于提高压电效率以及压电电荷的采集效率，从而提高水听器芯片的灵敏度。

主权项：1.一种双层AIN压电薄膜水听器芯片单元，其特征在于，包括由下向上依次设置的SOI基片、第一AIN压电层、第一电极层、隔离层、第二AIN压电层以及第二电极层；第一电极层与第一AIN压电层的外缘轮廓的形状和大小均相同；第一电极层包括第一正电极和第一负电极；其中，第一正电极设置于第一电极层的中心区域，且呈圆形；第一负电极设置于第一电极层的外侧边缘区域，且呈环形；第二电极层与第二AIN压电层的外缘轮廓的形状和大小均相同；第二电极层包括第二正电极和第二负电极；其中，第二正电极设置于第二电极层的中心区域，且呈圆形；第二负电极设置于第二电极层的外侧边缘区域，且呈环形。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 青岛国数信息科技有限公司;青岛国数微电子有限公司 一种双层AIN压电薄膜水听器芯片单元、芯片以及水听器

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