申请/专利权人：上海赛美特软件科技股份有限公司

申请日：2023-02-24

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN116153831B

主分类号：H01L21/677

分类号：H01L21/677;H01L21/67

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权;2023.08.25#著录事项变更;2023.06.09#实质审查的生效;2023.05.23#公开

摘要：本申请提供了一种假片更换方法、装置、电子设备及存储介质，涉及芯片制造技术领域，应用于生产制造执行系统MES，其中，基于设置的假片更换通知接口，接收机台自动化程序EAP上报的目标机台需要更换旧假片的通知；响应接收到的所述机台自动化程序EAP上报的目标机台需要更换旧假片的通知，建立假片更换信息；基于建立的所述假片更换信息向所述目标机台下发相匹配的更换假片的搬送任务；从而实现芯片制造过程中对炉管机台和蚀刻机台DummyWafer假片更换的全自动化，提升芯片制造的效率和质量。

主权项：1.一种假片更换方法，其特征在于，应用于生产制造执行系统MES，所述方法包括以下步骤：基于设置的假片更换通知接口，接收机台自动化程序EAP上报的目标机台需要更换旧假片的通知；基于接收到的所述机台自动化程序EAP上报的目标机台需要更换旧假片的通知，获取需要更换的旧假片的唯一标识信息、以及所述目标机台的唯一标识信息；根据获取的所述目标机台的唯一标识信息，确定所述目标机台的生产类型；其中，所述目标机台的生产类型包括炉管机台和蚀刻机台；基于获取的旧假片的唯一标识信息、以及确定的所述目标机台的生产类型，建立假片更换信息；其中，若所述目标机台的生产类型为炉管机台，建立第一假片更换信息；若所述目标机台的生产类型为蚀刻机台，建立第二假片更换信息；并且，基于建立的所述第一假片更换信息向炉管机台下发更换假片的第一搬送任务；或者基于建立的所述第二假片更换信息向蚀刻机台下发更换假片的第二搬送任务；基于建立的所述第一假片更换信息确定需要更换的旧假片数目，并设定旧假片的更换顺序；针对设定的旧假片的更换顺序，生成逐个将装有新假片的前开式晶圆传送盒送入炉管机台的第一搬送任务，并下发至所述炉管机台，以驱使所述炉管机台对相应的旧假片进行更换；基于建立的所述第二假片更换信息确定蚀刻机台的自动化类型；其中，若所述蚀刻机台为全自动化，生成将装有新假片的前开式晶圆传送盒送入所述蚀刻机台的第二搬送任务，并下发至所述蚀刻机台，以驱使所述炉管机台对相应的旧假片进行更换；若所述蚀刻机台为半自动化，生成先将空载的前开式晶圆传送盒送入所述蚀刻机台、再将装有新假片的前开式晶圆传送盒送入所述蚀刻机台的第二搬送任务，并下发至所述蚀刻机台，以驱使所述炉管机台先将旧假片通过空载的前开式晶圆传送盒传出、再将新假片进行填充。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海赛美特软件科技股份有限公司 一种假片更换方法、装置、电子设备及存储介质

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