申请/专利权人：西安建筑科技大学

申请日：2020-05-28

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN111441045B

主分类号：C23C24/08

分类号：C23C24/08

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权;2020.08.18#实质审查的生效;2020.07.24#公开

摘要：本发明公开了一种电子束沉积喷头及方法，包括喷嘴和高压气体加热器，高压气体加热器内部设有加热腔，高压气体加热器上设有与加热腔连通的高压气体接口，高压气体加热器的上端设有电子束装置连接口；喷嘴为圆锥形喷嘴，喷嘴为中空结构，喷嘴的小端设有供电子束通过的电子束孔，喷嘴的大端与高压气体加热器的下端连接，喷嘴内部沿其周向均匀对称布设有若干拉阀管，拉阀管从喷嘴的大端面延伸至喷嘴的小端面，拉阀管从喷嘴的大端面至小端面方向包括依次连通的收缩段、喉口和扩张段，拉阀管收缩段的入口与高压气体加热器的加热腔连通，喷嘴上在喉口的部位设有与喉口连通的送粉管道。本发明能够电子束与粉束在一个结构里实现耦合，保证涂层质量。

主权项：1.一种电子束沉积喷头，其特征在于，包括喷嘴（13）和高压气体加热器（14），高压气体加热器（14）为圆筒形，高压气体加热器（14）内部设有加热腔，高压气体加热器（14）上设有与加热腔连通的高压气体接口（3），高压气体加热器（14）的上端设有能够与电子束装置连接的电子束装置连接口（1）；喷嘴（13）为圆锥形喷嘴，喷嘴（13）为中空结构，喷嘴（13）的小端设有供电子束通过的电子束孔（15），喷嘴（13）的大端与高压气体加热器（14）的下端连接，喷嘴（13）内部沿其周向均匀对称布设有若干拉阀管（5），拉阀管（5）从喷嘴（13）的大端面延伸至喷嘴（13）的小端面，拉阀管（5）从喷嘴（13）的大端面至小端面方向包括依次连通的收缩段、喉口（11）和扩张段，拉阀管（5）收缩段的入口与高压气体加热器（14）的加热腔连通，喷嘴（13）上在喉口（11）的部位设有与喉口（11）连通的送粉管道（6）；所有拉阀管（5）的扩张段出口的轴线相交于一点；喷嘴（13）的小端面为内凹的圆锥面；高压气体加热器（14）的内腔设有加热元件（4），高压气体加热器（14）的加热腔壁面设有保温层（2）。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 西安建筑科技大学 一种电子束沉积喷头及方法

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