申请/专利权人：江苏中能硅业科技发展有限公司

申请日：2023-07-10

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN220642602U

主分类号：C01B33/107

分类号：C01B33/107

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权

摘要：本实用新型公开了一种三氯氢硅生产技术领域的四氯化硅汽化器及三氯氢硅生产设备，旨在解决现有技术中三氯氢硅产量低、热效率低的问题。其包括四氯化硅入口、氢气入口和水蒸气入口设于汽化器壳体的一端而在另一端设置输出加热后的混合气体的出口，并在汽化器壳体内壁两侧交错间隔分布多个隔板，四氯化硅入口设置的雾化设备延长了混合气体的流动行程并促进了氢气与雾化四氯化硅的混合程度，进而促进了后续生成三氯氢硅的反应效率；雾化设备将四氯化硅在水蒸气入口处雾化使四氯化硅快速汽化并与氢气充分混合，进而提高了三氯氢硅生产设备整体生成三氯氢硅的反应效率；同时较长的流动行程也提高了水蒸气的加热效率。

主权项：1.一种四氯化硅汽化器，包括汽化器壳体（8）和四氯化硅入口（3），其特征在于，所述四氯化硅入口（3）、氢气入口（4）和水蒸气入口（1）设于所述汽化器壳体（8）的一端，出口（5）设于所述汽化器壳体（8）的另一端，所述汽化器壳体（8）内壁两侧交错间隔分布多个隔板（6）以延长混合气体流动至所述出口（5）的行程；所述四氯化硅入口（3）设有雾化设备。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 江苏中能硅业科技发展有限公司 一种四氯化硅汽化器及三氯氢硅生产设备

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