申请/专利权人：成都天一国泰真空设备有限公司

申请日：2023-07-25

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN220651939U

主分类号：H01J37/08

分类号：H01J37/08;H01J37/143

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权

摘要：本实用新型公开了一种磁场强度可调节的条形离子源结构，属于真空镀膜机设备技术领域，目的在于解决传统的条形离子源磁场强度不合适的时候很难调整的问题。其包括真空箱体、阴极基板、磁铁组件、绝缘法兰、垫高法兰、冷却铜板、阳极基板，阴极基板安装于真空箱体上，阴极基板中心开设有方孔，磁铁组件安装于方孔上；绝缘法兰安装于阴极基板大气侧的表面，垫高法兰安装于绝缘法兰上，冷却铜板安装于垫高法兰上，阳极基板安装于冷却铜板上；磁铁连接板两边通过绝缘垫高块安装于阴极基板真空侧的表面，永磁铁粘接于磁铁背板上且位于阴极基板的大气侧，磁铁背板通过磁铁垫高块与磁铁连接板连接。本实用新型适用于一种磁场强度可调节的条形离子源结构。

主权项：1.一种磁场强度可调节的条形离子源结构，其特征在于，包括真空箱体12、阴极基板1、磁铁组件2、绝缘法兰3、垫高法兰4、冷却铜板5、阳极基板6，所述阴极基板1安装于真空箱体12上，所述阴极基板1中心开设有方孔，所述磁铁组件2安装于方孔上，所述磁铁组件2包括磁铁连接板7、磁铁垫高块8、绝缘垫高块9、磁铁背板10、永磁铁11；所述绝缘法兰3安装于阴极基板1大气侧的表面上，所述垫高法兰4安装于绝缘法兰3下表面上，所述冷却铜板5安装于垫高法兰4下表面上，所述阳极基板6安装于冷却铜板5上；所述磁铁连接板7两边通过绝缘垫高块9安装于阴极基板1真空侧的表面上，所述永磁铁11粘接于磁铁背板10上且位于阴极基板1的大气侧，所述磁铁背板10通过磁铁垫高块8与磁铁连接板7连接。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 成都天一国泰真空设备有限公司 一种磁场强度可调节的条形离子源结构

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