申请/专利权人:芯恩(青岛)集成电路有限公司
申请日:2023-08-29
公开(公告)日:2024-03-22
公开(公告)号:CN220651988U
主分类号:H01L21/683
分类号:H01L21/683;H01L21/67
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.03.22#授权
摘要:本实用新型提供一种晶圆吸盘,设置电卡制冷件,通过电卡效应循环制冷,提高控温效率,节省空间,节约资金与人力;采用环保的冷却介质,对生物与环境无危害;部件稳定性高,使用寿命长,更换频率低;可实现多样化,适用范围广,能适应不同结构的机型。
主权项:1.一种晶圆吸盘,其特征在于,所述晶圆吸盘包括:基座,所述基座中设置有加热件及容置腔;电卡制冷件,所述电卡制冷件设置于所述容置腔内;冷却介质管道,所述冷却介质管道与所述容置腔相连通,用于容置冷却介质;散热件,所述散热件与所述冷却介质管道相接触,用于散发热量。
全文数据:
权利要求:
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