申请/专利权人：台州爱德盟半导体有限公司

申请日：2023-08-05

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN220643258U

主分类号：C23C16/50

分类号：C23C16/50;C23C16/458;C23C16/455

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权

摘要：本实用新型公开了一种MPCVD基片台旋转结构，包括反应腔、驱动腔及轮杆，所述驱动腔位于反应腔的下方，所述轮杆穿过驱动腔的底端及顶端延伸至反应腔内，所述轮杆的顶端设有基片台，所述反应腔及驱动腔均与轮杆转动连接，所述轮杆的周壁设有螺旋叶片，所述螺旋叶片位于驱动腔内，所述驱动腔一侧设有气瓶，所述气瓶通过进气管路与驱动腔连通，所述进气管路上设有第一开关阀，所述驱动腔通过出气管路与反应腔连通。本实用新型提供了一种MPCVD基片台旋转结构，利用装置输入气体时产生的动能驱动基片台旋转，达到节能的目的。

主权项：1.一种MPCVD基片台旋转结构，其特征在于，包括反应腔、驱动腔及轮杆，所述驱动腔位于反应腔的下方，所述轮杆穿过驱动腔的底端及顶端延伸至反应腔内，所述轮杆的顶端设有基片台，所述反应腔及驱动腔均与轮杆转动连接，所述轮杆的周壁设有螺旋叶片，所述螺旋叶片位于驱动腔内，所述驱动腔一侧设有气瓶，所述气瓶通过进气管路与驱动腔连通，所述进气管路上设有第一开关阀，所述驱动腔通过出气管路与反应腔连通。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 台州爱德盟半导体有限公司 一种MPCVD基片台旋转结构

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