申请/专利权人：上海顺心谷半导体科技有限公司

申请日：2023-08-03

公开（公告）日：2024-04-30

公开（公告）号：CN220867577U

主分类号：C30B29/04

分类号：C30B29/04;C30B25/00;C23C16/50

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.30#授权

摘要：本实用新型公开了一种用于MPCVD金刚石生长的晶种摆放装置，包括限位罐与密封盖，所述限位罐上安装有多个安装槽，多个所述安装槽内底壁均设有上顶槽，所述上顶槽内通过上顶机构设有上顶杆，所述上顶杆上末端固定设有上顶板，所述密封盖弧形外壁设有多块与安装槽对应的安装板，所述安装板通过定位机构与限位罐连接，所述密封盖上设有环形板，所述环形板通过密封机构与限位罐连接。本实用新型通过设置安装槽、安装板、定位杆、定位孔与密封圈等组件，实现了限位罐相对于密封盖的便捷拆装，且二者之间无需借助螺栓组件，并不存在滑丝现象影响装置拆装使用。

主权项：1.一种用于MPCVD金刚石生长的晶种摆放装置，包括限位罐1与密封盖7，其特征在于，所述限位罐1上安装有多个安装槽2，多个所述安装槽2内底壁均设有上顶槽，所述上顶槽内通过上顶机构设有上顶杆5，所述上顶杆5上末端固定设有上顶板4，所述密封盖7弧形外壁设有多块与安装槽2对应的安装板11，所述安装板11通过定位机构与限位罐1连接，所述密封盖7上设有环形板8，所述环形板8通过密封机构与限位罐1连接。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海顺心谷半导体科技有限公司 一种用于MPCVD金刚石生长的晶种摆放装置

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