申请/专利权人：太赫兹科技应用(广东)有限公司

申请日：2023-08-14

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN220650461U

主分类号：G01N21/3586

分类号：G01N21/3586;G01N21/01

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权

摘要：本实用新型公开了一种太赫兹光纤光谱仪小型面振扫描探头及检测系统，用于扫描检测面，包括壳体及设置在壳体中的发射组件、接收组件和检测光路，壳体中设有扫描振镜模块、分光片、第一镜面和第二镜面；检测光路包括输入光路和输出光路，输入光路从发射组件出发，依次经过第一镜面、分光片和扫描振镜模块，到达检测面，输入光路在检测面上的落点为检测点；输出光路在检测点处连接输入光路，输出光路自检测点依次经过扫描振镜模块、分光片和第二镜面，到达接收组件；扫描振镜模块调节输入光路和输出光路，改变检测点在检测面上的位置。本实用新型体积较小、稳定性高、使用方便、扫描速度快，提高了检测效率，适用于工业化快速成像扫描。

主权项：1.一种太赫兹光纤光谱仪小型面振扫描探头，用于扫描检测面，包括壳体，以及设置在壳体中的发射组件、接收组件和检测光路，其特征在于，所述壳体中设有扫描振镜模块、分光片，以及用于引导检测光路的第一镜面和第二镜面；所述检测光路包括输入光路和输出光路，所述输入光路从发射组件出发，依次经过第一镜面、分光片和扫描振镜模块，到达检测面，所述输入光路在检测面上的落点为检测点；所述输出光路在检测点处连接输入光路，所述输出光路自检测点依次经过扫描振镜模块、分光片和第二镜面，到达接收组件；所述扫描振镜模块调节输入光路和输出光路，改变检测点在检测面上的位置。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 太赫兹科技应用(广东)有限公司 一种太赫兹光纤光谱仪小型面振扫描探头及检测系统

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