申请/专利权人：沈阳腾鳌真空技术有限公司

申请日：2023-05-30

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN220643243U

主分类号：C23C14/50

分类号：C23C14/50

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权

摘要：本实用新型提供了一种十工位公自转工件安装架，属于安装架技术领域；十工位公自转工件安装架安装在真空腔室上，十工位公自转工件安装架带动管状工件转动，十工位公自转工件安装架包括：旋转盘、旋转轴、工件安装台、第一齿轮、第二齿轮、第一转轴和第二转轴；通过将旋转轴与旋转盘的周向转动连接，将第一齿轮套装在旋转轴的外侧，并将第二齿轮与第一齿轮相啮合，同时，使管状工件通过工件安装台与旋转轴相连接，以实现通过转动第二齿轮，以使第二齿轮带动第一齿轮和旋转轴转动，从而带动管状工件转动，进而实现管状工件自转的效果。通过将第二转轴与旋转盘相连接，以实现通过转动第二转轴以带动旋转盘转动，从而实现管状工件公转的效果。

主权项：1.一种十工位公自转工件安装架，所述十工位公自转工件安装架安装在真空腔室上，所述十工位公自转工件安装架带动管状工件转动，其特征在于，所述十工位公自转工件安装架包括：旋转盘，所述旋转盘嵌入所述真空腔室内；旋转轴，十个所述旋转轴与所述旋转盘的周向转动连接；工件安装台，十个所述工件安装台分别与十个所述旋转轴相连接，且所述管状工件安装在所述工件安装台上；第一齿轮，十个所述第一齿轮分别套装在十个所述旋转轴的外侧；第二齿轮，所述第二齿轮位于所述旋转盘的上方，且所述第二齿轮同时与十个所述第一齿轮相啮合；第一转轴，所述第一转轴的一端与所述第二齿轮相连接，所述第一转轴穿过所述旋转盘，且所述第一转轴的另一端位于所述真空腔室的外侧；第二转轴，所述第二转轴的一端与所述旋转盘相连接，所述第二转轴的另一端位于所述真空腔室的外侧，所述第二转轴绕设在所述第一转轴的外侧，且所述第二转轴与所述第一转轴之间有间隙。

全文数据：

权利要求：

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