申请/专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司

申请日：2023-07-05

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN220643239U

主分类号：C23C14/35

分类号：C23C14/35

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权

摘要：本实用新型提供了一种增加使用寿命的靶材结构，所述以靶材结构的溅射面的中心为基底，沿由内向外的方向，所述靶材结构的溅射面包括第一溅射区与第二溅射区；所述第二溅射区为斜角结构；所述斜角结构的一端与第一溅射区临接，另一端与靶材结构的侧壁临接。本实用新型通过第二溅射区的设置，在不增加靶材结构厚度的条件下，提高了靶材的利用率，进而延长了靶材结构的使用寿命，同时能够降低因靶材结构产生的高度差导致的均匀性问题。

主权项：1.一种增加使用寿命的靶材结构，其特征在于，以靶材结构的溅射面的中心为基底，沿由内向外的方向，所述靶材结构的溅射面包括第一溅射区与第二溅射区；所述第二溅射区为斜角结构；所述斜角结构的一端与第一溅射区临接，另一端与靶材结构的侧壁临接。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 宁波江丰电子材料股份有限公司 一种增加使用寿命的靶材结构

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