申请/专利权人：广东工业大学

申请日：2023-08-08

公开（公告）日：2024-03-26

公开（公告）号：CN116884906B

主分类号：H01L21/683

分类号：H01L21/683;H01L21/68;H01L33/00;H01L21/67

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.26#授权;2023.10.31#实质审查的生效;2023.10.13#公开

摘要：一种划膜刺晶式Mini‑LED巨量转移装置及其使用方法。巨量转移装置包括：龙门横梁；龙门横梁上设有可沿龙门横梁移动的刺晶座；刺晶座上固定有视觉相机以及刺针；在龙门横梁靠近刺针的一侧间隔设置有水平放置的蓝膜，蓝膜远离龙门横梁的一侧表面粘有多个均匀排布的Mini‑LED芯片；在蓝膜靠近Mini‑LED芯片的一侧间隔设置有水平放置的转移基板。本发明的有益效果在于：划膜刺晶方法相比于传统刺晶，刺晶时刺晶座横向匀速运动避免了运动平台频繁间歇式停顿，减少运动平台损耗；划膜刺晶的剥离方式相较于飞行刺晶接触蓝膜上表面时间更长，有利于芯片和蓝膜之间的胶层发生撕裂并扩展裂纹，提高了刺晶剥离的效率和转移质量。

主权项：1.一种划膜刺晶式Mini-LED巨量转移装置，其特征在于，所述Mini-LED巨量转移装置包括：龙门横梁；所述龙门横梁上设有可沿所述龙门横梁移动的刺晶座；所述刺晶座上固定有视觉相机以及刺针；在所述龙门横梁靠近所述刺针的一侧间隔设置有水平放置的蓝膜，所述蓝膜远离所述龙门横梁的一侧表面粘有多个均匀排布的Mini-LED芯片；在所述蓝膜靠近所述Mini-LED芯片的一侧间隔设置有水平放置的转移基板；所述刺晶座通过直线电机在所述龙门横梁上进行X轴方向移动，所述龙门横梁通过步进电机实现Y轴方向移动；所述刺晶座通过音圈电机控制所述刺针在X轴和Z轴方向上的运动；所述刺针沿X轴负方向运动速率小于所述刺晶座沿X轴正方向运动速率。

全文数据：

权利要求：

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