申请/专利权人：迈为技术(珠海)有限公司

申请日：2023-08-24

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN220796685U

主分类号：H01L21/677

分类号：H01L21/677

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权

摘要：本实用新型涉及芯片转移设备领域，提供了一种用于巨量转移设备的龙门机构，包括横梁、第一横向单元和第二横向单元；第一横向单元包括第一溜板和第一直线电机，第一溜板用于安装刺晶单元，第一直线电机驱动第一溜板沿横梁横向移动，第一溜板设置用于形成气浮导轨的第一气浮垫；第二横向单元包括第二溜板和第二直线电机，第二溜板用于安装晶圆交互单元，第二直线电机驱动第二溜板沿横梁横向移动；第二溜板设置用于形成气浮导轨的第二气浮垫。本实用新型的溜板形成无接触悬浮状态，在直线电机的带动下可高频、高速移动而不产生磨损；移动中无热量产生，溜板不产生热膨胀变形，保证了定位精度的稳定；气膜刚性可抵消微小振动，整定时间缩短，提高刺晶频率。

主权项：1.一种用于巨量转移设备的龙门机构，其特征在于，所述龙门机构包括横梁、第一横向单元和第二横向单元，所述第一横向单元包括第一溜板和第一直线电机，所述第一溜板用于安装刺晶单元，所述第一直线电机用于驱动所述第一溜板沿着横梁的横向移动；其中，所述第一溜板上设置第一气浮垫，所述第一气浮垫用于形成气浮导轨，所述第一直线电机包括第一定子和第一动子，所述第一定子包括设置于所述横梁第一侧面的第一永磁铁，所述第一动子设置于所述第一溜板上；所述第二横向单元包括第二溜板和第二直线电机，所述第二溜板用于安装晶圆交互单元，所述第二直线电机用于驱动所述第二溜板沿着横梁的横向移动；其中，所述第二溜板上设置第二气浮垫，所述第二气浮垫用于形成气浮导轨，所述第二直线电机包括第二定子和第二动子，所述第二定子包括设置于所述横梁下侧的第二永磁铁，所述第二动子设置于所述第二溜板上。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 迈为技术(珠海)有限公司 用于巨量转移设备的龙门机构

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