申请/专利权人：松下知识产权经营株式会社

申请日：2020-06-23

公开（公告）日：2024-03-26

公开（公告）号：CN114270286B

主分类号：G05D3/00

分类号：G05D3/00

优先权：["20190902 JP 2019-159452"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.26#授权;2022.04.19#实质审查的生效;2022.04.01#公开

摘要：抑制机架机构中的载物台在横摆方向的运动。用于控制机架机构100中的载物台的位置的载物台位置控制装置1具备：Y轴重心推力指令输出部30，其输出用于指示Y1轴驱动系统与Y2轴驱动系统的重心推力的第一Y轴重心推力指令；Y轴差推力指令输出部20，其输出用于指示Y1轴驱动系统与Y2轴驱动系统的差推力的第一Y轴差推力指令；前馈部11，其将用于指示X轴位置的X轴位置指令x以及用于指示Y1轴位置与Y2轴位置的重心位置的Y轴重心位置指令Y1前馈到第一Y轴差推力指令F2，来输出第二Y轴差推力指令F2'；以及推力变换部50，其使用第一Y轴重心推力指令和第二Y轴差推力指令来控制载物台的位置。

主权项：1.一种载物台位置控制装置，用于控制机架机构中的载物台的位置，所述机架机构具有：所述载物台，其位置根据在Y1轴上的Y1轴驱动系统中的驱动位置即Y1轴位置、在与所述Y1轴平行的Y2轴上的Y2轴驱动系统中的驱动位置即Y2轴位置以及在与所述Y1轴及所述Y2轴垂直的X轴上的X轴驱动系统中的驱动位置即X轴位置而被确定，所述载物台位置控制装置具备：Y轴重心推力指令输出部，其输出用于指示作为所述Y1轴驱动系统的推力与所述Y2轴驱动系统的推力之和的重心推力的第一Y轴重心推力指令；Y轴差推力指令输出部，输出用于指示作为所述Y1轴驱动系统的推力与所述Y2轴驱动系统的推力之差的差推力的第一Y轴差推力指令；前馈部，其将用于指示所述X轴位置的X轴位置指令以及示出同作为所述Y1轴位置与所述Y2轴位置之和的Y轴重心位置之间的关系的Y轴重心位置指令前馈到所述第一Y轴差推力指令，来输出第二Y轴差推力指令；以及推力变换部，其使用所述第一Y轴重心推力指令和所述第二Y轴差推力指令来控制所述载物台的位置，其中，所述Y轴重心推力指令输出部通过接收表示所述Y1轴位置与所述Y2轴位置的重心位置的Y轴重心位置作为反馈值，来输出所述第一Y轴重心推力指令，所述Y轴差推力指令输出部通过接收表示所述Y1轴位置与所述Y2轴位置的差位置的Y轴差位置作为反馈值，来输出所述第一Y轴差推力指令，惯性差是所述Y1轴驱动系统的惯性与所述Y2轴驱动系统的惯性之差，惯性函数表示所述惯性之差与所述X轴位置之间的关系，所述前馈部根据惯性函数和由所述X轴位置指令指示的X轴位置来计算惯性差，所述前馈部根据所述Y轴重心位置指令和所计算出的所述惯性差来计算向所述第一Y轴差推力指令前馈的前馈值。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 松下知识产权经营株式会社 载物台位置控制装置和载物台位置控制方法

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