申请/专利权人：武汉元禄光电技术有限公司

申请日：2023-07-10

公开（公告）日：2024-03-26

公开（公告）号：CN116673604B

主分类号：B23K26/362

分类号：B23K26/362;B23K26/082;B23K26/064

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.26#授权;2023.09.19#实质审查的生效;2023.09.01#公开

摘要：本发明公开一种增加单次激光刻蚀线宽和提高效率的方法及装置，包括：支架，支架上设置有安装工位；聚焦镜头，聚焦镜头转动连接在支架的安装工位上，聚焦镜头顶端的中心位置安装有衍射镜片；角度调整机构，角度调整机构包括固定连接在聚焦镜头顶部的上端盖，上端盖与支架之间设置有精调外圈，支架上安装有角度调整组件，角度调整组件与精调外圈的外壁固定连接，精调外圈转动连接在支架顶端且与上端盖的外壁可拆卸连接；其中，上端盖的中心位置开设有激光入射孔，激光入射孔与衍射镜片同轴对应设置。本发明转动DOE矩阵光斑后可以增加单次刻蚀线宽，通过激光衍射的方式可同时刻蚀多条线，大大调高了装置的工作效率。

主权项：1.一种增加单次激光刻蚀线宽和提高效率的装置，其特征在于，包括：支架（7），所述支架（7）上设置有安装工位；聚焦镜头，所述聚焦镜头转动连接在所述支架（7）的安装工位上，所述聚焦镜头顶端的中心位置安装有衍射镜片（10）；角度调整机构，所述角度调整机构包括固定连接在所述聚焦镜头顶部的上端盖（1），所述上端盖（1）与所述支架（7）之间设置有精调外圈（3），所述支架（7）上安装有角度调整组件，所述角度调整组件与所述精调外圈（3）的外壁固定连接，所述精调外圈（3）转动连接在所述支架（7）顶端且与所述上端盖（1）的外壁可拆卸连接；所述精调外圈（3）转动连接在所述上端盖（1）上，且所述精调外圈（3）与所述上端盖（1）之间通过锁紧螺栓（13）可拆卸连接；所述角度调整组件包括对称固定连接在所述支架（7）上的固定块，其中一所述固定块上螺纹连接有螺纹副（6），另一所述固定块上滑动连接有调节手轮（4），所述调节手轮（4）与所述螺纹副（6）同轴设置，且所述调节手轮（4）与所述螺纹副（6）之间固定连接有推杆（5），所述推杆（5）一端与所述精调外圈（3）的外壁固定连接；其中，所述上端盖（1）的中心位置开设有激光入射孔，所述激光入射孔与所述衍射镜片（10）同轴对应设置；所述聚焦镜头包括聚焦场镜（12），所述聚焦场镜（12）顶部滑动套设有镜筒（11），所述镜筒（11）转动连接在所述支架（7）上，所述衍射镜片（10）通过镜片垫圈（9）和镜片压圈（8）固定在所述镜筒（11）顶端，且所述衍射镜片（10）与所述镜筒（11）同轴设置；所述支架（7）的安装工位上固定连接有滚针轴承（14），所述镜筒（11）固定在所述滚针轴承（14）的内周面上；其中，所述滚针轴承（14）的上下两端分别设置有垫圈（2）。

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