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【实用新型】一种热场部件和单晶硅棒拉制装置_隆基绿能科技股份有限公司_202321739753.5 

申请/专利权人:隆基绿能科技股份有限公司

申请日:2023-07-04

公开(公告)日:2024-03-26

公开(公告)号:CN220665512U

主分类号:C30B29/06

分类号:C30B29/06;C30B15/14

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.03.26#授权

摘要:本申请实施例提供了一种热场部件和单晶硅棒拉制装置。所述热场部件包括:环状本体,所述环状本体内设置有环状腔体;壳体,所述壳体设置在所述环状腔体内靠近所述坩埚的一侧,所述壳体内设置有环状的容纳腔;环状的磁性件,所述磁性件连接于所述壳体内;进水管,所述进水管与所述容纳腔连通,所述进水管用于将冷却介质通入所述容纳腔内;以及出水管,所述出水管与所述容纳腔连通,所述出水管用于将所述容纳腔内的所述冷却介质导出。在本申请实施例所述的热场部件应用于单晶硅棒拉制装置的情况下,可以兼顾所述单晶硅棒的拉制速度和拉晶品质。

主权项:1.一种热场部件,用于单晶硅棒拉制装置,所述单晶硅棒拉制装置包括炉体以及设置于所述炉体内的坩埚,所述热场部件位于所述坩埚上方,所述热场部件为热屏,其特征在于,所述热场部件包括:环状本体,所述环状本体内设置有环状腔体;壳体,所述壳体设置在所述环状腔体内靠近所述坩埚的一侧,所述壳体内设置有环状的容纳腔;环状的磁性件,所述磁性件连接于所述壳体内;进水管,所述进水管与所述容纳腔连通,所述进水管用于将冷却介质通入所述容纳腔内;以及出水管,所述出水管与所述容纳腔连通,所述出水管用于将所述容纳腔内的所述冷却介质导出。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 隆基绿能科技股份有限公司 一种热场部件和单晶硅棒拉制装置

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