申请/专利权人：四川高景太阳能科技有限公司;广东金湾高景太阳能科技有限公司

申请日：2023-12-20

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN117888181A

主分类号：C30B15/20

分类号：C30B15/20;G06F17/10;G06F17/18;G06F18/22;G06F18/10;C30B29/06

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.03#实质审查的生效;2024.04.16#公开

摘要：本发明公开了一种用于单晶硅拉制过程中参数偏离的自动提示方法及系统，包括以下步骤：使用数据采集设备实时采集单晶硅拉制过程中的工艺参数，并将实时采集的工艺参数进行预处理，得到预处理后的工艺参数；基于预处理后的工艺参数，使用逻辑算法和规则引擎以检测任何偏离预期的情况；根据数据分析的结果得到潜在的参数偏离情况，并根据潜在的参数偏离情况，生成相应的错误信息；将错误信息以预设的形式提示操作人员；其中，数据采集设备包括多个温度传感器、多个压力传感器，工艺参数包括拉制温度、拉制压力以及硅液重量。本发明用于解决现有技术通过人工的方式进行参数监测，由于无法及时发现参数偏离，导致拉制效率低和晶棒质量不佳的技术问题。

主权项：1.一种用于单晶硅拉制过程中参数偏离的自动提示方法，其特征在于，包括以下步骤：使用数据采集设备实时采集单晶硅拉制过程中的工艺参数，并将实时采集的工艺参数进行预处理，得到预处理后的工艺参数；基于所述预处理后的工艺参数，使用逻辑算法和规则引擎以检测任何偏离预期的情况；根据数据分析的结果得到潜在的参数偏离情况，并根据所述潜在的参数偏离情况，生成相应的错误信息；将所述错误信息以预设的形式提示操作人员；其中，所述数据采集设备包括多个温度传感器、多个压力传感器、重量传感器，所述工艺参数包括拉制温度、拉制压力以及硅液重量。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 四川高景太阳能科技有限公司;广东金湾高景太阳能科技有限公司 一种用于单晶硅拉制过程中参数偏离的自动提示方法及系统

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