申请/专利权人：卡尔蔡司SMT有限责任公司;卡尔蔡司X光显微镜股份有限公司

申请日：2022-07-22

公开（公告）日：2024-03-29

公开（公告）号：CN117795624A

主分类号：G21K7/00

分类号：G21K7/00;H01J37/244

优先权：["20210915 DE 102021210175.5","20210915 DE 102021210174.7","20210816 US 17/402,819","20210816 US 17/402,822"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.16#实质审查的生效;2024.03.29#公开

摘要：一种将X射线照射的对象成像的成像光学配置。成像光学设备用于将场平面中的传输场成像到检测平面内的检测场。闪烁体材料层配置于该传输场处。光阑配置于该成像光学设备的光瞳平面内。该成像光学设备具有光学轴。该光阑的光阑开口的中心配置在相对于该光学轴的偏心距离处。此成像光学配置确保该对象的高质量成像，而不管进入该传输场的X射线如何倾斜。该成像光学配置为更含有检测阵列及载物台的检测组合件的一部分。此检测组合件为更含有X射线源的检测系统的一部分。

主权项：1.一种将被X射线照射的对象成像的成像光学配置，该成像光学配置包含：-成像光学设备，用于将场平面中的传输场经由成像光路径成像到检测平面内的检测场；-闪烁体材料层，配置于该传输场处；以及-光阑，配置于该成像光学设备的光瞳平面内，-其中该成像光学设备具有光学轴，-其中该光阑的光阑开口的中心配置在相对于该光学轴的偏心距离处。

全文数据：

权利要求：

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