申请/专利权人：广东先导稀材股份有限公司

申请日：2023-12-29

公开（公告）日：2024-03-29

公开（公告）号：CN117778951A

主分类号：C23C14/08

分类号：C23C14/08;C23C14/35;C23C14/58;C23C14/34;C23C14/54;H01M8/126

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.16#实质审查的生效;2024.03.29#公开

摘要：本申请公开了一种氧化钆掺杂的氧化铈薄膜及其制备方法与应用，涉及薄膜材料技术领域。本申请通过采用特定生长温度的直流磁控溅射工艺制备氧化钆掺杂氧化铈层，并在直流磁控溅射工艺结束后在特定的气体气氛中进行第一次退火和第二次退火，有效改善了氧化钆掺杂氧化铈层在衬底上的附着力，并使其稳定性良好，使所得薄膜适合用作固体燃料电池电解质中。

主权项：1.一种氧化钆掺杂的氧化铈薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：采用直流磁控溅射工艺在衬底的至少一面上制备氧化钆掺杂氧化铈层，其中生长温度为80-200℃；在第一气体气氛中进行第一次退火，再在第二气体气氛中进行第二次退火，得到氧化钆掺杂的氧化铈薄膜，其中第一气体包括氮气、惰性气体中的至少一种以及氧气，第二气体为空气。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 广东先导稀材股份有限公司 一种氧化钆掺杂的氧化铈薄膜及其制备方法与应用

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