申请/专利权人：BCnC股份有限公司

申请日：2023-09-11

公开（公告）日：2024-03-29

公开（公告）号：CN117779177A

主分类号：C30B15/36

分类号：C30B15/36;C30B15/20;C30B29/06

优先权：["20220928 KR 10-2022-0123325"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.16#实质审查的生效;2024.03.29#公开

摘要：本发明涉及一种圆筒形硅锭的制造方法，其包括：向坩埚内部供给硅原料，通过加热上述坩埚使上述硅原料熔化的步骤；将一端紧固于晶种轴上的晶种供给到坩埚内部的步骤；及通过使坩埚相对于晶种轴在一个方向上旋转，并使晶种轴在另一个方向上旋转并上升，以将晶种从坩埚的下部移动到上部的步骤。根据本发明，由于生长环状晶种，因此可以制造圆筒形硅锭，并且形成具有内径的圆筒形硅锭，从而可以由铸锭制造晶圆保持环而无需取芯工作，因此可以通过减少添加于坩埚的原材料量，以降低成本，使工人伤害最小化，减少工艺步骤，提高工艺速度和效率，使缺陷率最小化，降低制造成本。

主权项：1.一种圆筒形铸锭的制造方法，其特征在于，包括：熔化步骤S100，向坩埚内部供给硅原料，通过加热上述坩埚使上述硅原料熔化；供给步骤S200，将具有环形截面的晶种的一端紧固于晶种轴上，供给到上述坩埚内部；及生长步骤S300，通过使上述坩埚相对于上述晶种轴在一个方向上旋转，并使上述晶种轴在另一个方向上旋转并上升，以将上述晶种从上述坩埚的下部移动到上部。

全文数据：

权利要求：

百度查询： BCnC股份有限公司 圆筒形硅锭的制造方法

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