申请/专利权人：埃地沃兹日本有限公司

申请日：2022-08-23

公开（公告）日：2024-03-29

公开（公告）号：CN117795214A

主分类号：F16C32/04

分类号：F16C32/04;F04D19/04

优先权：["20210830 JP 2021-140133"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.03.29#公开

摘要：提供一种在使用磁轴承的悬浮系统中能够高灵敏度地测定旋转体的固有振动模式的磁轴承装置及真空泵。在步骤1中，开始第二运转模式的运转。在步骤3中，控制器7的增益比第一运转模式时的增益增大。在步骤5中，在该状态下测定固有振动频率。作为测定对象的固有振动是旋转体103的弯曲模式、旋转叶片102的固有振动模式、起因于定子的振动模式、旋转体103的刚体模式。由控制装置的中央运算处理装置CPU进行运算处理，但也可以在外部进行运算处理。在步骤5中的固有振动频率的测定后，在步骤7中使控制器7的增益返回到第一运转模式时的增益。在步骤9中，第二运转模式的运转结束。因此，能够高灵敏度地检测固有振动模式。

主权项：1.一种磁轴承装置，具备：旋转体；磁轴承，利用磁力在空中悬浮支承该旋转体；以及磁轴承控制器，控制该磁轴承，其特征在于，在由所述磁轴承控制器进行的磁轴承控制中，具有以第一磁轴承控制增益进行所述旋转体的通常运转的第一运转模式、以及以第二磁轴承控制增益进行所述旋转体的暂时运转并测定所述磁轴承装置的固有振动频率的第二运转模式，所述第二磁轴承控制增益大于所述第一磁轴承控制增益。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 埃地沃兹日本有限公司 磁轴承装置及真空泵

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