申请/专利权人：株式会社斯库林集团

申请日：2023-09-25

公开（公告）日：2024-03-29

公开（公告）号：CN117772650A

主分类号：B08B1/12

分类号：B08B1/12;B08B1/32;H01L21/67;A46B13/00;A46B13/02;A46B13/04;B08B3/02;B08B5/02

优先权：["20220926 JP 2022-153021"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.16#实质审查的生效;2024.03.29#公开

摘要：本发明提供一种基板清洗刷及基板清洗装置。基板清洗刷包括清洗部，在基板的清洗中使用。清洗部具有在清洗基板时能够与基板接触的清洗面。在清洗面上形成切缝。清洗部通过切缝被划分成多个清洗块。在清洗面与基板接触时，通过清洗部的弹性变形，各清洗块和与该清洗块相邻的清洗块彼此接触。

主权项：1.一种基板清洗刷，在基板的清洗中使用，其特征在于，具备清洗部，该清洗部具有在清洗所述基板时能够与所述基板接触的清洗面，且在所述清洗面上形成有切缝，所述清洗面通过所述切缝被划分成多个清洗块，在所述清洗面与所述基板接触时，通过所述清洗部的弹性变形,各清洗块和与该清洗块相邻的清洗块彼此接触。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社斯库林集团 基板清洗刷及基板清洗装置

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