申请/专利权人：华南理工大学

申请日：2023-11-23

公开（公告）日：2024-03-29

公开（公告）号：CN117784723A

主分类号：G05B19/418

分类号：G05B19/418;G02B3/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.16#实质审查的生效;2024.03.29#公开

摘要：本发明公开了在线多波段光感应解耦的微光学部件成型过程监控方法，以在线监测及校正微光学部件成型过程参数，可控制光学部件微表面拓扑结构成型尺度及诊断设备的工况，包括以下步骤：通过期望高度选择工艺参数，多方位在线采集加工过程的光线多波段的照度曲线并解耦提取特征值，结合过往的经验数据中光感应特征值与过程参数间的关联性，实时预测加工过程参数包含热压温度，热压压力，保压时间等，并结合热熔压缩理论表征微成型的表面应力，最后通过反馈控制算法校正设备状况并控制微成型尺度。该方法可实现微光学部件成型过程多参数的在线高效预测和诊断，并解决微光学部件加工生产过程的时变性问题。

主权项：1.在线多波段光感应解耦的微光学部件成型过程监控方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、设置系统参数，设定期望复合微透镜高度hi*；S2、根据期望复合微透镜高度，根据过往加工形成的经验数据库，基于先验概率选出适用于本次热压加工的热压印工艺参数，热压印工艺参数包括热压温度、热压压力和保压时间；S3、热压印成型阶段，在工件周围放置n个光源和n个光线接收装置，每个光源均对应一个光线接收装置，用于可持续检测工作台运动至不同位置时的光线值；预设热压印工艺参数，在热压印平台开始向上运动时，打开所有光源，这些光源能发射红色、绿色和蓝色三种颜色的光，发射的光一部分被光线接收装置接收；S4、将光源接收装置接收到的每种颜色光对应测量值的照度曲线特征化，每条照度曲线提取多个照度特征值，得到本次热压印成型的所有照度特征值；每条照度曲线通过每个光源每种颜色的波长对应照度特征值，并根据经验数据库通过基于先验概率的算法得到在线检测热压印工艺参数、模芯成型合模时的运动速度、工件成型的平整度，并根据复合微透镜阵列热压印成型理论模型，通过热压印工艺参数，得到实际工件表面应力和热压印成型高度；S5、若预测热压印工艺参数与设定热压印工艺参数之差超过设定阈值，则设备出现故障，需要对设备工艺参数进行反馈控制；若在设定阈值之内则执行步骤S6；S6、工作站比较期望成型高度和预测成型高度，若超出允许的误差范围，则重新设定复合微透镜高度并返回步骤S2调整热压印工艺参数，若未超出允许的误差范围返回步骤S3继续加工。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 华南理工大学 在线多波段光感应解耦的微光学部件成型过程监控方法

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