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【发明公布】一种用于导出用于图案化平面光学部件的光对准层的自由曲面主透镜的表面轮廓的方法_根特大学_202280055923.X 

申请/专利权人:根特大学

申请日:2022-08-22

公开(公告)日:2024-04-02

公开(公告)号:CN117813196A

主分类号:B29D11/00

分类号:B29D11/00;G02B3/00;G02B27/00;G02B5/18;G02B5/32;G02B5/30

优先权:["20210823 EP 21192650.6"]

专利状态码:在审-公开

法律状态:2024.04.02#公开

摘要:本公开涉及一种用于导出自由曲面主透镜的表面轮廓的方法,该自由曲面主透镜用于图案化平面光学部件的一个或两个光对准层,该方法包括:获取平面光学部件的期望光学功能;获取所述平面光学部件的实际光学功能,所述实际光学功能描述为使用自由曲面测试透镜来记录的,所述自由曲面测试透镜具有配置为提供期望光学功能的表面轮廓;估计期望光学功能和实际光学功能之间的偏差;以及使用所估计的偏差来校正自由曲面测试透镜的表面轮廓,从而导出自由曲面主透镜的表面轮廓。

主权项:1.一种用于导出用于图案化平面光学部件100的一个或两个光对准层121、122的自由曲面主透镜的表面轮廓156’的方法,所述方法包括:-限定201平面光学部件100的期望光学功能;-确定配置成提供期望光学功能的自由曲面测试透镜155的表面轮廓156;-接收自由曲面测试透镜155和平面光学部件100之间的距离并接收记录光束的波长;-确定202平面光学部件100的实际光学功能;-通过比较对应于期望光学功能的相位差和对应于实际光学功能的相位差来确定203期望光学功能和实际光学功能之间的偏差;和-使用所确定的偏差来确定204自由曲面测试透镜155的校正表面轮廓,从而导出自由曲面主透镜的表面轮廓156’。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 根特大学 一种用于导出用于图案化平面光学部件的光对准层的自由曲面主透镜的表面轮廓的方法

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