申请/专利权人：上海征世科技股份有限公司

申请日：2023-11-28

公开（公告）日：2024-03-29

公开（公告）号：CN117778999A

主分类号：C23C16/511

分类号：C23C16/511;C23C16/27;C23C16/455;C23C16/52

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.16#实质审查的生效;2024.03.29#公开

摘要：本发明公开了附带温度调控机构的mpcvd金刚石生长设备，涉及金刚石生长技术领域，包括主体、承载台、水冷系统、微波系统、加热系统和供气系统，所述主体内部下方设置有真空泵，所述主体内部上方设置有混合管，所述混合管内部设置有活塞板，所述活塞板的内部设置有气泵，所述混合管的下方设置有承载台，所述承载台的下方设置有水冷系统，承载台的外侧设置有限压环，承载台位于限压环的内部上方。本发明在工作期间，混合气体在混合管内部经过时，混合气体内各种气体之间相互混合，同时对主体内部产生的石墨进行及时清理，配合气流内部的氢离子，对石墨粉末进行清理，以保证气流内部的碳原子浓度。

主权项：1.附带温度调控机构的mpcvd金刚石生长设备，包括主体1、承载台4、水冷系统、微波系统、加热系统和供气系统，所述主体1内部下方设置有真空泵，其特征在于：所述主体1内部上方设置有混合管2，所述混合管2内部设置有活塞板3，所述活塞板3的内部设置有气泵，所述混合管2的下方设置有承载台4，所述承载台4的下方设置有水冷系统，承载台4的外侧设置有限压环5，承载台4位于限压环5的内部上方；所述混合管2与活塞板3之间滑动连接，混合管2的外侧设置有两组管道，混合管2通过两组管道分别与供气系统和限压环5相连通。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海征世科技股份有限公司 附带温度调控机构的mpcvd金刚石生长设备

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD