申请/专利权人：宁夏申和新材料科技有限公司

申请日：2023-11-13

公开（公告）日：2024-03-29

公开（公告）号：CN117779170A

主分类号：C30B15/00

分类号：C30B15/00;C30B29/06;C30B15/20;C30B15/32;C30B15/30

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.16#实质审查的生效;2024.03.29#公开

摘要：该发明提供一种同步拉制多根晶棒的一体化单晶硅炉，包括主炉室、副炉室、设置在主炉室一侧的炉体开启升降机构、设置在副炉室顶部的籽晶旋转提升机构及设置在主炉室底部的坩埚驱动机构，副炉室对应安装在主炉室上端，炉体开启升降机构与副炉室连接，用于对副炉室升降，主炉室内设置有若干石墨加热装置，每个石墨加热装置的正上方分别设置有水冷屏，籽晶旋转提升机构上设置有与石墨加热装置数量相匹配的籽晶夹头分别悬在每个石墨加热装置的正上方，坩埚驱动机构分别与每个石墨加热装置连接，并驱动每个石墨加热装置进行同步升降和旋转，籽晶旋转提升机构驱动每个籽晶夹头进行升降和同步旋转，以实现在一个单晶硅炉内进行多根晶棒同步拉制。

主权项：1.一种同步拉制多根晶棒的一体化单晶硅炉，包括主炉室、副炉室、设置在主炉室一侧的炉体开启升降机构、设置在副炉室顶部的籽晶旋转提升机构及设置在主炉室底部的坩埚驱动机构，所述副炉室对应安装在主炉室上端，炉体开启升降机构与副炉室连接，用于对副炉室升降，以开启或关闭炉体，其特征在于：所述主炉室内设置有若干平行并列排布的用于装配石英坩埚的石墨加热装置，每个所述石墨加热装置的正上方分别设置有水冷屏，所述籽晶旋转提升机构上设置有与石墨加热装置数量相匹配的籽晶夹头，若干所述籽晶夹头设置在副炉室内并分别悬在每个所述石墨加热装置的正上方，所述坩埚驱动机构分别与每个所述石墨加热装置连接，并能够驱动每个石墨加热装置进行同步升降和旋转，所述籽晶旋转提升机构能够驱动每个籽晶夹头进行升降和同步旋转，以实现在一个单晶硅炉内进行多根晶棒同步拉制。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 宁夏申和新材料科技有限公司 同步拉制多根晶棒的一体化单晶硅炉

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