申请/专利权人：上海馨欧集成微电有限公司

申请日：2023-12-28

公开（公告）日：2024-03-29

公开（公告）号：CN117792331A

主分类号：H03H9/17

分类号：H03H9/17;H03H9/02;H03H3/02

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.16#实质审查的生效;2024.03.29#公开

摘要：本发明提供一种兰姆波谐振器及其制作方法，该兰姆波谐振器包括衬底、叉指换能器、高声速介电薄膜及质量负载层，衬底上方具有压电薄膜，叉指换能器位于压电薄膜上方且包括多个在水平方向上间隔交错排列的叉指电极质量负载层位于叉指电极远离压电薄膜的一面上方且包括多个质量负载块，每一叉指电极上方均具有至少一质量负载块，质量负载块的宽度小于叉指电极。该兰姆波谐振器通过大幅增加叉指电极的宽度以显著增加器件的单位面积电容，有效解决器件实际应用时面积过大的问题，有效提升系统集成度并拓展器件应用场景，同时增设质量负载层以保持器件的高工作效率和高机电耦合系数性能。该制作方法制作工艺步骤简单、工艺成熟且成本低廉。

主权项：1.一种兰姆波谐振器，其特征在于，包括：衬底，所述衬底上方具有压电薄膜；叉指换能器，位于所述压电薄膜上方，所述叉指换能器包括多个在水平方向上间隔且交错排列的叉指电极，所述叉指电极的金属化率大于0.5；质量负载层，位于所述叉指电极远离所述压电薄膜的一面上方，所述质量负载层包括多个质量负载块，每一所述叉指电极上方均具有至少一所述质量负载块，所述质量负载块的宽度小于所述叉指电极的宽度。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海馨欧集成微电有限公司 一种兰姆波谐振器及其制作方法

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