申请/专利权人:烟台大学
申请日:2023-12-07
公开(公告)日:2024-03-29
公开(公告)号:CN117778950A
主分类号:C23C14/06
分类号:C23C14/06;C23C14/35;C23C14/02;F02C7/00
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.04.16#实质审查的生效;2024.03.29#公开
摘要:本发明提供一种Mo‑Si‑C纳米固溶薄膜材料及其制备方法和应用,包括钼元素、硅元素和碳元素,钼元素的含量为23~27at.%,硅元素的含量为53~46at.%,碳元素的含量为0~10.1at.%,碳元素以固溶体的形式进入MoSi2晶格中,或者以固溶体+非晶第二相α‑C的形式存在。本发明提供的Mo‑Si‑C纳米固溶薄膜材料及其制备方法和应用,能够将非金属元素碳引入MoSi2中的技术问题,并成功地制备了Mo‑Si‑C固溶薄膜,细化了薄膜的晶粒结构,提高了其致密性,显著改善了其力学和摩擦学性能,对于高性能机械部件的性能提升具有重大意义。
主权项:1.一种Mo-Si-C纳米固溶薄膜材料,其特征在于,包括钼元素、硅元素和碳元素,所述钼元素的含量为23~27at.%,所述硅元素的含量为53~46at.%,所述碳元素的含量为0~10.1at.%,所述碳元素以固溶体的形式进入MoSi2晶格中,或者以固溶体+非晶第二相α-C的形式存在。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 烟台大学 一种Mo-Si-C纳米固溶薄膜材料及其制备方法和应用
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