申请/专利权人：苏州哥地光子技术有限公司

申请日：2022-06-21

公开（公告）日：2024-03-29

公开（公告）号：CN117779207A

主分类号：C30B35/00

分类号：C30B35/00;G01K7/02

优先权：

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.03.29#公开

摘要：本发明公开了一种移动加热器法单晶炉温场测试装置，涉及移动加热器法单晶炉测温技术领域，包括移动式加热器单晶炉，所述移动式加热器单晶炉的底端安装有炉盖组件；所述炉盖组件包括炉壳外盖，所述炉壳外盖通过卡箍与移动式加热器单晶炉的底端相连接，所述炉壳外盖的底端安装有炉盖底板，且炉壳外盖内部的炉盖底板上方设置有炉盖填充砖；所述炉盖底板的下方设置有固定台组件。本发明通过通过固定台与炉盖的连接关系决定该测温装置的工作模式，既能够对移动加热器法单晶炉的温场进行全面测量，同时，也能够对生长界面附近的温度进行实时监控，使用单个装置可以一次获取多类数据。

主权项：1.一种移动加热器法单晶炉温场测试装置，包括移动式加热器单晶炉1，其特征在于：所述移动式加热器单晶炉1的底端安装有炉盖组件；所述炉盖组件包括炉壳外盖2，所述炉壳外盖2通过卡箍与移动式加热器单晶炉1的底端相连接，所述炉壳外盖2的底端安装有炉盖底板3，且炉壳外盖2内部的炉盖底板3上方设置有炉盖填充砖4；所述炉盖底板3的下方设置有固定台组件；所述固定台组件包括固定盘6，所述固定盘6设置于炉盖底板3的下方，且固定盘6的外侧均竖向螺接有多个固定台支撑立柱5，所述固定台支撑立柱5的上下两端分别贯穿至固定盘6的上方和下方；所述固定盘6的下方设置有测温组件；所述测温组件包括圆柱固定器8，所述圆柱固定器8焊接于固定盘6的内壁，且圆柱固定器8的上下两端分别延伸至固定盘6的上方和下方，所述圆柱固定器8的内部安装有热电偶7，且热电偶7的顶端延伸至移动式加热器单晶炉1的内部，所述热电偶7的底端安装有补偿导线9；所述移动式加热器单晶炉1的内部设置有长晶杆10，且长晶杆10的底端延伸至固定盘6的下方。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 苏州哥地光子技术有限公司 一种移动加热器法单晶炉温场测试装置

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